SJ6000系列chotest激光干涉儀集光、機(jī),、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,，結(jié)合激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng),、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,。除了環(huán)境適應(yīng)能力好，還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量,，選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測(cè)量振動(dòng)幅度,、平面度、線速度,、角速度等,。

功能

1.結(jié)合不同光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng),、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量；

2.在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000系列chotest激光干涉儀測(cè)量分辨率可達(dá)0.01″，系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″,，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″,，采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償,，具有測(cè)量精度高,、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快,、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),。

特點(diǎn)

1.精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2.功能廣

可實(shí)現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量,；

可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測(cè)量；

可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn),；

可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

3.軟件強(qiáng)

友好的人機(jī)界面；

豐富的應(yīng)用功能模塊,；

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簡(jiǎn)潔化的記錄管理,；

支持中文、英文和俄文界面,；

支持企業(yè)專屬模板定制,。

SJ6000激光干涉儀的測(cè)量系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),。其中，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。